Kiểm tra có độ chính xác cao hỗ trợ quá trình sản xuất tiên tiến

Trong lĩnh vực bán dẫn và kỹ thuật chính xác, việc đo lườngkính hiển viđóng vai trò là công cụ kiểm soát chất lượng cốt lõi, độ chính xác và hiệu quả của nó ảnh hưởng trực tiếp đến năng suất sản phẩm và chi phí sản xuất. Gần đây, nhiều nhà sản xuất và tổ chức nghiên cứu đã tung ra các sản phẩm kính hiển vi đo lường mới và những đột phá kỹ thuật nhắm đến các tình huống ứng dụng khác nhau, đẩy việc kiểm tra vi chiều lên một tầm cao mới.

Về mặt nâng cấp thiết bị, Nikon Metrology đã giới thiệu hệ thống đo video NEXIV VMZ-S và dòng sản phẩm kính hiển vi đo lường tại triển lãm SEPEM Grenoble vào tháng 11 năm 2026. Hệ thống VMZ-S kết hợp quang học có độ chính xác cao, tự động hóa thông minh và phần mềm đo lường trực quan, được thiết kế dành riêng cho các ứng dụng sản xuất chất bán dẫn, điện tử và sản xuất chính xác, cho phép kiểm tra chiều nhanh chóng và có thể lặp lại đối với các tính năng phức tạp thu nhỏ. Cũng trong khoảng thời gian đó, Vision Engineering đã ra mắt kính hiển vi kiểm tra kỹ thuật số lấy nét tự động PicoZoom, lấp đầy khoảng cách giữa các nền tảng cấp cơ bản và cao cấp. Hệ thống có tính năng thu phóng cơ giới và lấy nét tự động bằng một cú nhấp chuột, với phạm vi thu phóng quang từ 0,7x đến 4,5x và độ phóng đại hệ thống từ 18,9x đến 121,8x. Chức năng xếp chồng tiêu điểm của nó kết hợp các hình ảnh được chụp ở các mặt phẳng tiêu cự khác nhau thành một tổng hợp sắc nét, mở rộng độ sâu trường ảnh một cách hiệu quả cho các bộ phận có đặc điểm độ sâu như mối hàn và các bộ phận có ren. Các công cụ đầu ra báo cáo và đo kích thước tích hợp cho phép người vận hành hoàn thành việc đo lường, lập tài liệu và tạo báo cáo trong hệ thống, hỗ trợ các yêu cầu về tài liệu kiểm soát chất lượng và truy xuất nguồn gốc, với giá niêm yết ở Vương quốc Anh bắt đầu từ £3.250.

Ở biên giới công nghệ, nghiên cứu học thuật tiếp tục mở rộng ranh giới khả năng đo của kính hiển vi. Một nghiên cứu được công bố trên tạp chí Khoa học và Công nghệ Đo lường đã khám phá khả năng đo của kính hiển vi lấy nét tự động điểm (PAM) đối với các bề mặt dốc. PAM truyền thống bị giới hạn bởi khẩu độ số khách quan, với các góc đo tối đa thường không vượt quá 20°. Nghiên cứu đề xuất sử dụng các nguyên tắc ánh sáng phản xạ khuếch tán và tần số sai lệch để mở rộng các góc nghiêng có thể đo được đến 0°–80°, đạt được độ chính xác đo dưới micromet trên các bộ khuếch tán quang học có độ nhám vừa phải. Một nghiên cứu khác đã giới thiệu phương pháp đo trục Z mới dựa trên kính hiển vi một mắt và bệ nghiêng có độ chính xác cao, tổng hợp chuỗi hình ảnh nhiều góc nhìn thông qua việc nghiêng mẫu được lập trình để thay thế các hệ thống nhiều camera truyền thống, đạt được phép đo chiều cao ở cấp độ micromet đồng thời giảm chi phí và độ phức tạp của hệ thống.

Từ kiểm tra tấm bán dẫn đến xác minh kích thước thiết bị y tế, đo lườngkính hiển vitiếp tục đáp ứng nhu cầu cấp thiết của ngành sản xuất về độ chính xác cao hơn, tốc độ nhanh hơn và khả năng truy xuất nguồn gốc nâng cao thông qua các công nghệ tự động hóa và đổi mới quang học.